CAS No.: 75-73-0
Other Names: Tetrafluoromethane
MF: Cf4
EINECS No.: 200-896-5
Grade Standard: Agriculture Grade, Electron Grade, Industrial Grade, Medicine Grade
Application: Industry
Brand Name: Huate Gas
Place Of Origin: Guangdong, China
Purity: 99.999%
包装: ドットシリンダーISOシリンダー
輸送方法: Ocean
についてのサポート: 60000 Kilogram/Kilograms per Day
ポート: Hongkong
お支払い方法の種類: L/C,T/T
異方性エッチング制御。他のハロカーボン、および空気または酸素の存在は、テトラフルオリドの制御に有害であり、プロセスの優れた制御をもたらし、より良い寸法およびプロファイルをもたらす。より高純度のCarbonorCF2条件では、フッ素フリーラジカルは通常CF3Carbon Tetrafluorideの形であり、通常の条件下では比較的不活性であり、窒息性です。 RFプラズマプロセスの下で。四フッ化炭素は、ポリシリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素をエッチングするために酸素とともに使用されます。四フッ化炭素は、さまざまなウェーハエッチングで使用されるフッ素またはフッ化炭素のフリーラジカルの供給源です。
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